含CrAlVN层和CrAlSiN层的复合涂层刀具及其制备方法
摘要
本发明公开了一种含CrAlVN层和CrAlSiN层的复合涂层刀具及其制备方法。该复合涂层刀具包括刀具基体和沉积于刀具基体上的复合涂层,复合涂层包含有一交替沉积所述CrAlVN层和CrAlSiN层的周期性涂层,CrAlVN层和CrAlSiN层共格外延生长成超点阵结构。制备方法包括将刀具基体进行预处理,然后选择性沉积过渡层,再沉积CrAlVN层和CrAlSiN层的周期性涂层,得到复合涂层刀具。本发明的复合涂层刀具具有自润滑性、高硬度、高热性能及低摩擦系数等优点,存在CrAlSiN层和CrAlVN层的共格界面,制备方法工艺简单、设备常规、生产成本低。